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发明名称 PLASMA REACTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0466669(A) 申请公布日期 1992.03.03
申请号 JP19900178584 申请日期 1990.07.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MORITA HIROYUKI
分类号 B01J19/08;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
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