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发明名称 METHOD FOR ETCHING ALUMINUM
摘要
申请公布号 JPH0466682(A) 申请公布日期 1992.03.03
申请号 JP19900176690 申请日期 1990.07.04
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 NOZOE SHOICHI;KAISE MASAHIRO;NISHIHARA CHIZUKO;SHINDO HITOSHI;ONISHI KOJI;DOUMEN KAZUNARI;HARA YUKIKAZU
分类号 C23F4/00;C23F4/02;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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