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发明名称 AUTOMATIC WIRING OF SEMICONDUCTOR LAYOUT CELL
摘要
申请公布号 JPH03159155(A) 申请公布日期 1991.07.09
申请号 JP19890297980 申请日期 1989.11.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HYODO YOSHIKO
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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