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发明名称 Semiconductor manufacturing apparatus including a temperature control mechanism
摘要
申请公布号 US5029554(A) 申请公布日期 1991.07.09
申请号 US19890330044 申请日期 1989.03.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MIYASHITA, NAOTO;TAKAHASHI, KOICHI;KINOSHITA, HIROSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/00;H01L21/318 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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