发明名称 TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0465145(A) 申请公布日期 1992.03.02
申请号 JP19900178311 申请日期 1990.07.05
申请人 FUJITSU LTD;KIYUUSHIYUU FUJITSUU EREKUTORONIKUSU:KK 发明人 TAKESHITA IKUO
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址