| 发明名称 |
CHARGE PARTICLE BEAM APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0465057(A) |
申请公布日期 |
1992.03.02 |
| 申请号 |
JP19900175214 |
申请日期 |
1990.07.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UEDA SHINJIRO;TAKAHASHI NUSHITO;KOBARI TOSHIAKI;OTAKA KENJI;ICHIHASHI MIKIO;MATSUI HIRONOBU;OTAKA TADASHI |
| 分类号 |
H01J37/073;H01J37/09;H01J37/12;H01J37/16;H01J37/18;H01J41/12 |
主分类号 |
H01J37/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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