发明名称 MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0464249(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900179018 申请日期 1990.07.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ANDO TOMOSHI
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/76;H01L21/84;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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