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发明名称 MICROWAVE DISCHARGE REACTOR
摘要
申请公布号 JPH0463285(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900173600 申请日期 1990.06.29
申请人 ANELVA CORP 发明人 IKEDA KEI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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