发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0463422(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900174467 申请日期 1990.07.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOSUGI MASATO
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/872 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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