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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING WIRING PATTERN
摘要
申请公布号 JPH0464233(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900178288 申请日期 1990.07.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OGAWA TOSHIAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/02;H01L21/3213;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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