发明名称 PIPING SYSTEM FOR TRANSPORTING ULTRAPURE WATER
摘要
申请公布号 JPH0463187(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900173239 申请日期 1990.06.29
申请人 SEKISUI CHEM CO LTD 发明人 KOJIMA TAKAHARU
分类号 C02F1/00;C08L71/08;C08L71/10;H01L21/304 主分类号 C02F1/00
代理机构 代理人
主权项
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