发明名称 TREATING METHOD OF REAR OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH0461172(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900165302 申请日期 1990.06.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIBASHI KIYOSHI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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