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发明名称 ORGANISCHER LOETDAMM FUER HALBLEITERANORDNUNG.
摘要
申请公布号 DE3775980(D1) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 DE19873775980 申请日期 1987.04.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 MCBRIDE, DONALD GENE, BINGHAMTON, N.Y. 13 903, US;SHAW, JANE MARGARET, RIDGEFIELD, CONN. 06 877, US
分类号 G03F7/075;H01L21/60;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/60;G03F7/26 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
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