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经营范围
发明名称
FORMATION OF MULTILAYER INTERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0461360(A)
申请公布日期
1992.02.27
申请号
JP19900171549
申请日期
1990.06.29
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
TSUKUMO TOSHIKI
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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