发明名称 FORMATION OF MULTILAYER INTERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0461360(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900171549 申请日期 1990.06.29
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 TSUKUMO TOSHIKI
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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