发明名称 ELECTRIC INSPECTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0462479(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900173804 申请日期 1990.06.29
申请人 SHARP CORP 发明人 MATSUBARA KOJI
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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