发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0462969(A) 申请公布日期 1992.02.27
申请号 JP19900174672 申请日期 1990.07.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KANEMOTO HIDEHIRO
分类号 H01L27/118;H01L21/82 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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