发明名称 INNER-LEAD BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0458543(A) 申请公布日期 1992.02.25
申请号 JP19900168313 申请日期 1990.06.28
申请人 TOSHIBA SEIKI KK 发明人 SAITO AKIHIDE;TAKEDA YASUSHI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址