| 发明名称 |
MULTILEVEL RESIST PLATED TRANSFER LAYER PROCESS FOR FINE LINE LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5091342(A) |
申请公布日期 |
1992.02.25 |
| 申请号 |
US19890315351 |
申请日期 |
1989.02.24 |
| 申请人 |
HEWLETT-PACKARD COMPANY |
发明人 |
STUDEBAKER, LAWRENCE G.;WONG, EDWARD H. |
| 分类号 |
G03F7/26;H01L21/027;H01L21/311;H01L21/338 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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