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发明名称 METHOD OF FORMING PATTERN BY USING AN ELECTROCONDUCTIVE COMPOSITION
摘要
申请公布号 US5091285(A) 申请公布日期 1992.02.25
申请号 US19900515444 申请日期 1990.04.27
申请人 FUJITSU LIMITED;NITTO CHEMICAL INDUSTRY CO., LTD. 发明人 WATANABE, KEIJI;YONEDA, YASUHIRO;KOBAYASHI, KOICHI;YANO, KEIKO;NAKAMURA, TOMIO;SHIMIZU, SHIGERU
分类号 G03F7/004;G03F7/027;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/66 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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