| 发明名称 |
ELECTRON BEAM SIZE MEASURING INSTRUMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0458104(A) |
申请公布日期 |
1992.02.25 |
| 申请号 |
JP19900166732 |
申请日期 |
1990.06.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKAMURA KAZUMITSU;KATO SHINICHI;HOKOTANI YOSHIO;NAMIKAWA YOSHIHISA |
| 分类号 |
G01B15/00;H01J37/04;H01J37/153;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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