发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS TESTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05288798(A) 申请公布日期 1993.11.02
申请号 JP19920094071 申请日期 1992.04.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 HORIGUCHI SHINJI;ITO KIYOO;SAKATA TAKESHI
分类号 G01R31/26;G11C11/401;G11C11/407;G11C29/00;G11C29/02;G11C29/04;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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