发明名称 ISOLIERVERFAHREN FUER HALBLEITERBAUELEMENTE
摘要
申请公布号 DE4036999(A1) 申请公布日期 1992.02.20
申请号 DE19904036999 申请日期 1990.11.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD., SUWON, KR 发明人 KWON, OH HYUN;BAE, DONG JOO, SEOUL/SOUL, KR
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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