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发明名称 METHOD FOR DIFFUSING IMPURITY OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0453127(A) 申请公布日期 1992.02.20
申请号 JP19900158471 申请日期 1990.06.15
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 KATAYAMA MASAYASU;FUJIYA SHIYOUICHI;SHINOMIYA MASARU;MOROGA ISAO
分类号 H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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