发明名称 LASER PVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0448070(A) 申请公布日期 1992.02.18
申请号 JP19900154018 申请日期 1990.06.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUGIYAMA SADAO;IZUHARA MASAMI
分类号 C23C14/28 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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