发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0448723(A) 申请公布日期 1992.02.18
申请号 JP19900155048 申请日期 1990.06.15
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 FUSE MARIO;NISHIHARA YOSHIO;ASAI ICHIRO
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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