发明名称 |
SEMICONDUCTOR TREATING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04202769(A) |
申请公布日期 |
1992.07.23 |
申请号 |
JP19900339125 |
申请日期 |
1990.11.30 |
申请人 |
TEXAS INSTR JAPAN LTD |
发明人 |
TAKEUCHI YOSHIJI;TAKAHASHI NOBUYUKI |
分类号 |
C23C14/00;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56;H01J37/34;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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