发明名称 四氯化硅的制造方法
摘要 本发明的目的是通过将硅金属或分子中至少具有一个HSi键的氯硅烷与氯化氢反应,建立一种高选择性地制造四氯化硅的方法。本发明提供一种制造四氯化硅的方法,它包括在至少一种周期表Ⅷ族金属元素或其化合物与一种选自周期表V<SUB>B</SUB>族第三周期及其随后周期的元素单质的混合物存在下,使硅金属或分子中至少具有一个HSi键的氯硅烷与氯化氢反应。
申请公布号 CN1176935A 申请公布日期 1998.03.25
申请号 CN97118046.6 申请日期 1997.09.03
申请人 株式会社德山 发明人 坂田勘治;弘田贤次;见神一郎
分类号 C01B33/08 主分类号 C01B33/08
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 温宏艳;田舍人
主权项 1.制造四氯化硅的方法,包括在以下组分的同时存在下,使硅金属或分子中至少具有一个HSi键的氯硅烷与氯化氢反应,(A)至少一种周期表VIII族金属元素或其化合物和(B)一种选自周期表VB族第三周期及其随后周期的元素单质。
地址 日本山口县