发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0444259(A) 申请公布日期 1992.02.14
申请号 JP19900148509 申请日期 1990.06.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAMOTO NORIO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L27/13 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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