发明名称 PROBE CONTROLLING METHOD FOR PROBE-SCANNING-TYPE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0442006(A) 申请公布日期 1992.02.12
申请号 JP19900149258 申请日期 1990.06.07
申请人 JEOL LTD 发明人 UOZUMI KIYOHIKO
分类号 G01B7/34;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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