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发明名称 ELECTRONIC COMPONENT TESTING INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH0436673(A) 申请公布日期 1992.02.06
申请号 JP19900143641 申请日期 1990.05.31
申请人 YOKOGAWA HEWLETT PACKARD LTD 发明人 KURITA ATSUSHI;KASUGA NOBUYUKI;HIWADA KIYOYASU
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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