发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0433331(A) |
申请公布日期 |
1992.02.04 |
申请号 |
JP19900141086 |
申请日期 |
1990.05.29 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
WATANABE KOJI;TAMURA AKIYOSHI;NANBU SHUTARO |
分类号 |
H01L21/265;H01L21/338;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|