发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FORMING ITS WIRING |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0432260(A) |
申请公布日期 |
1992.02.04 |
申请号 |
JP19900138912 |
申请日期 |
1990.05.29 |
申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HAYASHI TAKANAO;UCHIYAMA AKIRA;YOKOYAMA TAKESHI |
分类号 |
H01L27/092;H01L21/28;H01L21/8238 |
主分类号 |
H01L27/092 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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