发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FORMING ITS WIRING
摘要
申请公布号 JPH0432260(A) 申请公布日期 1992.02.04
申请号 JP19900138912 申请日期 1990.05.29
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HAYASHI TAKANAO;UCHIYAMA AKIRA;YOKOYAMA TAKESHI
分类号 H01L27/092;H01L21/28;H01L21/8238 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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