发明名称 DEVICE FOR PULLING UP SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0431390(A) 申请公布日期 1992.02.03
申请号 JP19900135663 申请日期 1990.05.25
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 FUJII TATSUO;FUNAYAMA TADASHI;TAKASU SHINICHIRO
分类号 C30B15/30;H01L21/208 主分类号 C30B15/30
代理机构 代理人
主权项
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