发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0430557(A) 申请公布日期 1992.02.03
申请号 JP19900135375 申请日期 1990.05.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIYASHITA NAOTO;TAKAHASHI KOICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/31 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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