| 发明名称 |
Process for depositing layers containing titanium, zirconium or hafnium. |
| 摘要 |
<p>Beschrieben wird ein Verfahren zur Abscheidung von Titan, Zirkonium oder Hafnium enthaltenden Schichten durch Zersetzung bestimmter Sandwich-Verbindungen des jeweiligen Metalls. Bevorzugt erfolgt die Zersetzung nach dem CVD-Verfahren.</p> |
| 申请公布号 |
EP0468395(A1) |
申请公布日期 |
1992.01.29 |
| 申请号 |
EP19910112230 |
申请日期 |
1991.07.22 |
| 申请人 |
KALI-CHEMIE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
KRUCK, THOMAS;HEINEN, RALF |
| 分类号 |
C23C16/18 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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