| 主权项 |
1.一种检查装置,其系以非接触方式来检查电路基 板之导电图案者,其特征为包含有: 互相隔离配置之具有多个导电性的单元; 用以将随时间变化的检查信号供给到上述单元之 供给机构; 用来处理在上述单元所出现之输出信号的处理机 构; 将各上述单元个别地连接到上述供给机构或上述 处理机构的切换机构;以及 用来控制上述切换机构的控制机构。2.如申请专 利范围第1项之检查装置,其更具有判定机构,用以 根据上述输出信号,来判定上述导电图案之断线、 或短路之至少其中一者。3.如申请专利范围第2项 之检查装置,其中上述判定机构,系在检查上述断 线或上述短路时,根据上述输出信号的强度是否超 出所定的临限値来判定上述断线或短路。4.如申 请专利范围第2项之检查装置,其中上述判定机构, 系在检查上述断线或上述短路时,针对不同的上述 导电图案进行检查,并藉由互相比较在各检查中之 上述输出信号的强度来加以判定。5.如申请专利 范围第1项之检查装置,其更具有记忆机构,用以记 忆与上述导电图案之位置以及形状有关的导电图 案。6.如申请专利范围第5项之检查装置,其中上述 控制机构,系根据上述导电图案资料,而特定出根 据上述切换机构来切换连接的上述单元。7.如申 请专利范围第1项之检查装置,其更具有根据在各 上述单元所出现的上述输出信号,而产生用以显示 所检查之上述导电图案之位置以及形状之画像之 画像资料的机构。8.如申请专利范围第7项之检查 装置,其更具有用以显示上述画像的机构。9.如申 请专利范围第7项之检查装置,其中上述控制机构 为了要产生上述画像资料,而以一边将上述单元之 至少其中一者连接到上述供给机构,一边将其他之 全部或属于一定之领域的上述单元一个一个地依 序连接到上述处理机构的方式来控制上述切换机 构。10.如申请专利范围第7项之检查装置,其中上 述控制机构系在检查上述导电图案之断线时,会以 一边将位在所检查之上述导电图案之一端上的至 少一个的上述单元连接到上述供给机构,而一边将 位在所检查之上述导电图案之另一端上的一个的 上述单元或多个的上述单元依序连接到上述处理 机构的方式来控制上述切换机构。11.如申请专利 范围第7项之检查装置,其中上述控制机构,系在检 查一对之上述导电图案的上述短路时,会以一边将 位在所检查之上述导电图案之一端上的至少一个 的上述单元连接到上述供给机构,而一边将位在所 检查之上述导电图案之另一端上的一个的上述单 元或多个的上述单元依序连接到上述处理机构的 方式控制上述切换机构。12.如申请专利范围第7项 之检查装置,其中上述控制机构,系在检查上述导 电图案之缺损时,会以一边将位在所检查之上述导 电图案上的至少一个的上述单元连接到上述供给 机构,而一边将位在该所检查之导电图案上以及位 于其周围上而连接到上述供给机构之上述单元以 外的上述单元依序连接到上述处理机构的方式来 控制上述切换机构。13.如申请专利范围第7项之检 查装置,其更具有用以记忆与上述导电图案之位置 以及形状有关之导电图案资料的记忆机构,且具有 藉由比对上述画像资料与上述导电图案资料,来判 定上述导电图案之断线、短路或缺陷之至少其中 一者的机构。14.如申请专利范围第7项之检查装置 ,其更具有用以记忆与上述导电图案的位置以及形 状有关之导电图案资料的记忆机构,且具有藉由比 对上述画像资料与上述导电图案资料,来检测所检 查之上述导电图案之位置偏移的机构。15.如申请 专利范围第14项之检查装置,其中上述比对系根据 特殊形状的上述导电图案或事先所实施之虚设导 电图案来进行。16.如申请专利范围第1至15项中任 一项之检查装置,其中上述切换机构可将各上述单 元个别地连接到上述供给机构、上述处理机构、 或GND,而上述控制机构,系以将未连接到上述供给 机构或上述处理机构之任一者的上述单元连接到 GND的方式来控制上述切换机构。17.如申请专利范 围第1项之检查装置,其中上述处理机构,系设在每 个上述单元或多个上述单元上。18.一种检查单元, 其系以非接触方式来检查电路基板之导电图案者, 其特征为包含有: 互相隔离配置之具有多个导电性的单元; 输入有针对上述单元之检查信号的输入端子; 用以输出来自上述单元之信号的输出端子; 输入有用来选择上述单元之控制信号的控制端子; 以及 根据上述控制信号,可将各上述单元个别地连接到 上述输入端子或上述输出端子的切换机构。19.如 申请专利范围第18项之检查单元,其中更具有被连 接到GND的GND端子,上述切换机构,系将各上述单元 个别地连接到上述输入端子、上述输出端子、或 上述GND端子之任一者。20.如申请专利范围第18项 之检查单元,其中上述单元乃呈平面地被配置。21. 如申请专利范围第20项之检查单元,其中上述单元 乃被配置成矩阵状。22.如申请专利范围第18项之 检查单元,其中各上述单元为相同的形状。23.如申 请专利范围第18至22项中任一项之检查单元,其中 上述单元的材料为金属材料。24.一种检查方法,其 系以非接触方式来检查电路基板之导电图案者,其 特征为包含有: 使具有多个导电性的单元互相隔离,且沿着上述导 电图案来配置的步骤; 将随着时间而变化的检查信号供给到至少一个上 述单元的步骤; 藉由上述检查信号之供给,并经由上述导电图案而 检测出在其他之上述单元出现之输出信号的步骤; 以及 根据所检出的上述输出信号来检查上述导电图案 的步骤。图式简单说明: 图1为表示本发明之一实施形态之检查装置A之构 成的图。 图2为表示检查单元1之构成的图。 图3为表示检查单元1之其他例之构成的图。 图4为表示切换电路16之内部方块(block)的图。 图5为表示检查之原理的图。 图6为表示成为检查对象之导电图案101a以及101b与 各单元11之位置关系的图。 图7为在图6中,表示当在导电图案101a发生断线时的 图。 图8为在图6中,表示当在导电图案101a与101b之间发 生短路时的图。 图9为表示当附设2个虚设导电图案102的电路基板 100的图。 图10为表示在检测出导电图案之座标时之导电图 案101a等与各单元11之关系的图。 图11为在检测出导电图案之座标时之显示器4a的显 示例。 图12为在检查导电图案之断线时之导电图案101a等 与各单元11之关系的图。 图13为在检查导电图案之断线时之显示器4a的显示 例。 图14为在检查导电图案之短路时之导电图案101a等 与各单元11之关系的图。 图15为在检查导电图案之短路时之显示器4a的显示 例。 图16为在检查导电图案之缺损时之导电图案101a等 与各单元11之关系的图。 图17为在检查导电图案之缺损时之显示器4a的显示 例。 |
