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发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0426589(A) 申请公布日期 1992.01.29
申请号 JP19900132392 申请日期 1990.05.22
申请人 NIPPON MINING CO LTD 发明人 IKUWA MITSUAKI;SEKI YOJI
分类号 C30B25/12;C30B29/42;H01L21/205 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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