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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING SCLIDS BY ION ATOMIZATION FAVOURABLY FOR THINNING SAMPLES FOR ELECTRON MICROSCOPES
摘要
申请公布号 HUT58164(A) 申请公布日期 1992.01.28
申请号 HU19890004791 申请日期 1989.09.08
申请人 MTA MUESZAKI FIZIKAI KUTATO INTEZETE,HU 发明人 BARNA,ARPAD,HU;GOSZTOLA,LASZLO,HU;REISINGER,GYOERGY,HU
分类号 H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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