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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0417337(A) 申请公布日期 1992.01.22
申请号 JP19900119975 申请日期 1990.05.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 USU TOSHIHIKO
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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