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发明名称 CATHODIC SPUTTERING SUBSTRATE COATING DEVICE
摘要
申请公布号 EP0447764(A3) 申请公布日期 1992.01.22
申请号 EP19910101178 申请日期 1991.01.30
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HENSEL, BERND, DIPL.-ING.;HOFMANN, DIETER, DIPL.-ING.;ECKHARDT, GUNTER, DIPL.-ING.;KOPACZ, UWE, DR.-PHYS.;SCHUESSLER, HANS, DIPL.-ING.
分类号 C23C14/35;C23C14/50;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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