发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0418732(A) 申请公布日期 1992.01.22
申请号 JP19900121844 申请日期 1990.05.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIYOSHI MOTOHIDE
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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