发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0418760(A) 申请公布日期 1992.01.22
申请号 JP19890039898 申请日期 1989.02.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INADA TAKAHISA;KUBOTA MASABUMI
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/43 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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