| 发明名称 |
OPTICAL FILM THICKNESS MONITOR AND SPUTTERING APPARATUS USING THE MONITOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0416704(A) |
申请公布日期 |
1992.01.21 |
| 申请号 |
JP19900121479 |
申请日期 |
1990.05.10 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YAMADA NOBORU;ONO EIJI;OSADA KENICHI |
| 分类号 |
G01B11/06;C23C14/34;C23C14/54;G11B7/26 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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