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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH0415562(A)
申请公布日期
1992.01.20
申请号
JP19900120314
申请日期
1990.05.10
申请人
NEC CORP
发明人
TAMICHI SHIGERU
分类号
G01R1/073;H01L21/66
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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