发明名称 PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 SG97391(G) 申请公布日期 1992.01.17
申请号 SG19910000973 申请日期 1991.11.20
申请人 HITACHI LTD. 发明人
分类号 H01L29/84;G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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