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发明名称 PHOTOSENSITIVE POSITIVE COMPOSITION AND PHOTOSENSITIVE REGISTRATION MATERIAL PREPARED THEREFROM
摘要
申请公布号 EP0244762(B1) 申请公布日期 1992.01.15
申请号 EP19870106281 申请日期 1987.04.30
申请人 HOECHST CELANESE CORPORATION 发明人 POTVIN, ROBERT E.;ST. ALBAN, JONAS O.;SOBODACHA, CHESTER J.
分类号 G03C1/72;G03F7/022;H01L21/027 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
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