发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0410424(A) 申请公布日期 1992.01.14
申请号 JP19900111935 申请日期 1990.04.26
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 HATSUYA AKIRA
分类号 H01L29/73;H01L21/3205;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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