| 发明名称 |
METHOD OF OBTAINING SILICON NITRIDE PRODUCT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5637276(A) |
申请公布日期 |
1981.04.10 |
| 申请号 |
JP19790112812 |
申请日期 |
1979.09.05 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
OCHIAI TOSHIHIKO;IWASAKI HIDEO |
| 分类号 |
G01N25/18;C04B35/58;G01N25/72 |
主分类号 |
G01N25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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