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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH047845(A) 申请公布日期 1992.01.13
申请号 JP19900111229 申请日期 1990.04.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUMIYA KOICHI
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/41 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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