| 发明名称 |
HIGHLY FUNCTION THIN FILM AND PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH046627(A) |
申请公布日期 |
1992.01.10 |
| 申请号 |
JP19900107241 |
申请日期 |
1990.04.23 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MAEZAWA KAJI;NOCHI KIDAI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/24;C23C14/56;G11B5/85 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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